소부장 업체, ASML 장비로 테스트한다…12인치 웨이퍼 테스트베드 구축

2020.12.17 10:09:43
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- 나노종합기술원, 2021년 1월부터 서비스 지원 본격화

[디지털데일리 김도현 기자] 국내 소재·부품·장비(소부장) 업체가 글로벌 기업의 장비로 반도체를 테스트할 수 있는 길이 열렸다.

15일 나노종합기술원은 12인치(300mm) 웨이퍼 테스트베드 구축을 완료하고 내년부터 서비스를 지원한다고 밝혔다. 

기술원은 지난해부터 반도체 장비·시설 구축 및 공정 개발 등을 추진하고 있다. 오는 2022년까지 총 450억원이 투입된다. 일본 수출규제 이후 소부장 국산화를 위해 국내 중소·중견 기업을 지원하는 차원이다.

그동안 국내 기업들은 반도체 소재, 부품 등 개발 과정에서 어려움을 겪었다. 검증 단계에서 실제 라인에 투입되는 장비로 테스트해야 하지만 비싼 가격 때문에 장비 확보가 쉽지 않았다. 벨기에 첨단연구센터 아이멕 등에서 검증 시험을 진행해왔지만 이 역시 비용이 많이 EMSE. 

기술원은 이러한 문제를 해결하기 위해 1000제곱미터(㎡) 규모 클린룸에 국내외 장비업체의 핵심 설비를 도입 중이다. ▲ASML ‘불화아르곤(ArF) 이머전 스캐너’ ▲도쿄일렉트론(TEL) ‘오토트랙 시스템’ ▲램리서치 ‘드라이에처’ ▲피에스케이 ‘PR 스트리퍼’ 등 10종이 대상이다.

이 중 ASML과 TEL 장비는 신속하게 장비셋업을 완료해 내년 1월부터 반도체 소재 기업에 시범서비스를 제공할 예정이다. 기술원은 삼성전자, SK하이닉스 등 수요기업과의 연계도 지원한다.

현재 구축되는 테스트베드는 40나노미터(nm)급이다. 식각 증착 측정 등 장비가 주력이다. 기술원은 오는 2023~2024년에는 20nm급으로 향상하고 ArF에서 극자외선(EUV) 포토레지스트 평가도 가능하도록 준비할 계획이다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr
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